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電鍍?cè)O(shè)備

簡(jiǎn)要描述：v應(yīng)用領(lǐng)域：Pillar

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

245
詳細(xì)介紹

v 應(yīng)用領(lǐng)域：Pillar，Bump，RDL，TSV等工藝

v 晶圓尺寸：150mm~300mm

v 設(shè)備配置：

? 最多3個(gè)loadport

? 最多24個(gè)電鍍腔體：Cu、Ni、Sn/Ag、Au

? 最多4個(gè)預(yù)濕腔體，4個(gè)清洗腔體

? 水平式電鍍腔體，無交叉污染

? 支持模塊化維護(hù)，提高設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間

? 橡膠密封技術(shù)，更佳密封性能

? 陰陽極分離技術(shù)，更佳鍍液穩(wěn)定性

v 工藝指標(biāo)：

v 高度均勻性：WiW≤5%    WtW≤5%    RtR≤5%


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