v Smart SE 是一款通用型薄膜測(cè)量工具。測(cè)試速度快，準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）

v 光譜范圍：450nm to 1000nm

v 光譜分辨率：優(yōu)于3nm

v 光源：鹵素?zé)艉退{(lán)光LED

v 測(cè)試時(shí)間：小于1秒到10秒

v 光斑尺寸:

? 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

? 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

? 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

? 500µm*500µm

v 入射角：450 to 900 ，步徑50

v 樣品尺寸：200mm以內(nèi)

v 樣品準(zhǔn)直：手動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)高度（17mm以內(nèi)）和傾角

v 空氣對(duì)射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

v 厚度準(zhǔn)確性：0.04%

v 厚度重復(fù)性：±0.02%

v 可選附件：

? 全自動(dòng)量角器，入射角度從450 到900可調(diào)，步徑0.010

? 可通過(guò)法蘭耦合在反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測(cè)

? 冷熱臺(tái)，液體樣品池和電化學(xué)反應(yīng)池

? 十字星自準(zhǔn)直系統(tǒng)